マイクロレンズアレイ成型用金型
- ~100mm
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- 製缶機械加工
- 三次元加工
業界 | 半導体 |
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材料 | STAVAX+無電解NiP等 |
加工方法 | 超精密切削加工(旋削、ミーリング) |
サイズ | 1セルサイズ0.3mm |
精度 | 形状精度 0.3μm ピッチ精度<1μm |
特徴
こちらは集光、マイクロレンズアレイ成型用金型です。
マイクロレンズアレイは樹脂などで作られた微細なマイクロレンズを大量に並べたもので、
半導体製造装置のエキシマレーザーにも使用される発光体の均質化および整形用の部品です。
マイクロレンズアレイにより、レンズプロファイルが極めて正確でレンズの位置決め精度を飛躍的に高めることが可能になります。
半導体製造装置の他、光ファイバーの光通信用レンズ用やプロジェクターの拡散レンズや特殊映像効果レンズ用など幅広い使用用途があり、
どの用途においても光の収差を小さくすることが求められており、高精度なマイクロレンズアレイが必要とされています。
マイクロレンズアレイは電子ビームやレーザーを用いたり、エッチングによる製造方法もありますが、
量産に際しては射出成形やプレス成形が効率的であるため、本事例のような高精度の金型が必要になります。
本事例では1セルのサイズが300μmと極小であり、形状精度が0.3μm、ピッチ精度が1μm未満であるなど
非常に高精度な加工となっております。
詳しくは下記記事もぜひご覧ください!
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※本事例のような製品についてはもちろん弊社で取り扱っておりますが、事例の作成に当たっては株式会社木村製作所様にご協力いただいております。
(出典:https://machining-costdown-center.com/ )